目視檢查燈NP-5在圓晶生產中的運用
什么是硅晶圓？ | |||||||||
| 是半導體芯片的原材料，以及稱為ingot的高硫化硅的原材料被處理成薄磁盤。為了在其上應用超精細處理，在鏡子上重復并完成拋光過程，例如包裝和拋光。您可以將其視為最平坦的事情。至于確認掉落的灰塵，可用于大學研究的4英寸喚醒（100φ）很便宜，而且處理很容易。過去，沒有目的是確認灰塵。 *它與用于粘合劑的硅酮不同。 |  | ||||||||
| ☆過去，那些份額的粘合劑紙被用于相同的目的。我從未直接比較可見性，但我認為大約兩位數變得更容易。 | |||||||||
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如何使用硅晶圓 | |||||||||
[在硅Waeha中檢查垃圾的程序]
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 用法的圖像 | |||||||||
[在每個過程中粘貼掉灰塵的量]例如，假設您有以下生產線。該過程A使用設備，然后運輸和存儲，并正在處理手頭上工作的過程B。以前，在最終檢查過程中，在此行中發現了垃圾缺陷的發現，如果是NG，將從過程中進行修復。即使您采取垃圾措施，如果您不知道垃圾將遵守該過程的位置，則可以提高整個清潔室的清潔度，從而依靠粒子柜臺的價值或教育工人進行教育清潔房間的舉止。 在這種情況下，對于諸如設備中的駕駛系統或存儲問題之類的情況，它幾乎無效。 但是，如果使用硅Waeha來收集灰塵的樣本，那么您在廢棄的時間內增加了多少？您可以轉換為單位區域并預測垃圾附件。此外，由于可以在每個過程中單獨完成，即使您采取措施，也可以采取可以預期具有最小和最大效果的措施 。 此外，硅晶片可以與清理一樣多次使用，因此對于測量而言，它的成本很小。 | |||||||||
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| [補充 - 質量可視化] 該方法不能判斷為秋季和塵埃的大小和大尺寸的“定量"，因此它是“定性可視化"。但是，我們可以判斷其中有多少（接近），因此我們認為它可以用作客觀標準。 | |||||||||
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在硅晶片中看起來像什么？ | |||||||||
[硅晶圓粘合劑的外觀是什么樣的？這是給出的那么實際上是什么樣的？右側的照片是一般環境中的硅晶圓盒，它是用帶有滴和灰塵的攝像機閃光燈拍攝的。您根本看不到掉落的灰塵。當然，您幾乎無法用正常的燈肉眼檢查垃圾。但是，接下來，您會看到相同的晶圓被多元的光照射，并且掉落的灰塵清楚地附著。目前，訣竅是在低角度以低角度照射偏振光，以免發生強反射。這樣，只出現晶圓上的垃圾。 這種方法的優點之一是很容易拍照，但底部照片是上述照片的修剪。如果有些像纖維一樣，您可以清楚地檢查垃圾的形狀。在視覺確認的情況下，最小的確認可以確認為約10μm。 |    | ||||||||
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觀察硅waeha的灰塵 | |||||||||
[觀察硅Waeha中的灰塵]接下來，讓我們嘗試根據周圍環境的掉落和灰塵的變化。首先，我們準備了三個硅晶片，暴露于1）沒有假期的辦公室，2）戶外1F和3）30分鐘。右側的照片是收集和拍照的照片。1）假日辦公室...它不受歡迎，并且是最美麗的，因為它不受歡迎且沒有浮動的灰塵。但是，您會看到一些相對較大的且輕便的異物附著。 2）1F戶外...最大的粘合劑量暴露于交通面臨的位置。大小有點小，其中許多是灰塵。 3）室外14F：您可以看到該數字小于1F。此處的目標粒子是由于尺寸小而掉落得非常緩慢的粒子。因此，它漂浮在空中一段時間，但最終掉落。因此，位置越高，濃度越薄，而另一個則傾向于更靠近表面。 |    | ||||||||
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轉移并觀察粘附灰塵 | |||||||||
[轉移并觀察粘合灰塵]以同樣的方式，您可以將灰塵從干凈的房間中的手套和雨雨等工具轉移到硅晶圓上并進行檢查。用干凈的雨刮器清理后，照片是晶圓的頂部。如果垃圾簡單地放在硅晶片上，則可以用干凈的刮水器 +工業酒精輕松將其除去。換句話說，可以低成本使用回收利用，因此您幾乎無法以這種方式關心運行成本。 *由于干凈的長凳沒有用于拍攝，因此并非垃圾零。 接下來，讓我們用手套輕輕觸摸晶圓。目前，我只是稍微觸摸了它，而無需付出任何努力。 最后，在晶圓上觀察到我的鐘燈。觸摸后，您會看到垃圾連接到手指的形狀上。 這樣，您也可以從目標中轉錄垃圾。 |    | ||||||||
| *在上面的實驗中，去除層狀光的綠色過濾器進行攝影。在視覺確認的情況下，似乎很容易看到它何時具有綠色過濾器。 | |||||||||
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| 在這種情況下是有效的 | |||||||||
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硅晶圓晶圓盒 /專用鑷子 | |||||||||
| 北極光和最佳伴侶，硅瓦哈人是對下降和灰塵的有力確認。易于-to -handle One -poce蓋，帶有彈簧的盒子（由聚丙烯制成），也可以同時使用專用的鑷子。 請從以下查詢表中使用。 *銷售方法是一組4英寸的硅晶片，還有一件箱子。請注意，我們不出售25個盒式磁帶。
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