日本精密陶瓷碳化硅球，SiC耐磨材料
碳化硅（SiC）是我司擅長的材料。擁有大型真空爐，可生產1m見方的產品。
高溫機械強度
耐磨耗性
高熱傳導性
耐腐蝕性
滑動部件（機械密封、化工泵軸承、軸）
粉碎機部件（分級機、氣流粉碎機、砂磨機）
半導體制造設備部件（XY平臺、MOCVD托盤、聚焦環、晶圓夾盤）
成型機部件（相機鏡頭成型機部件）
耐熱部件（燃燒器噴嘴、高溫試驗機部件、熔融金屬用坩堝）
耐磨部件（噴砂機噴嘴、噴丸機拋丸機葉片、埋地管道保護板、釣具導向環）
碳化硅是一種黑色陶瓷，和其他的精密陶瓷相比，在高溫環境（1000℃以上）中機械強度降低幅度小、耐磨耗性高。
因其強共價鍵，在各種精密陶瓷材料中硬度gao、耐腐蝕性優異、在液體中的滑動特性良好。
利用這些特點，使用在機械密封、化工泵軸承等方面。此外，也可用于半導體生產設備的晶圓叉等。
日本精密陶瓷碳化硅球，SiC耐磨材料
| 型號 | 特點 | 密度 | 楊氏彈性模量 | 彎曲強度 | 斷裂韌性 | 熱膨脹系數 | 熱傳導率 | 體積電阻 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| [g/cm3] | [GPa] | [MPa] | [MPa?m1/2] | [×10-6/K] | [W/m?K] | [Ω?cm] | ||
| SCP01 | 耐腐蝕 高硬度 | 3.1 | 430 | 490 | 3 | 3.1 | 140 | 104 |
| SCP02 | 高熱傳導 高電阻 | 3.1 | 430 | 490 | 3 | 3.1 | 170 | 106 |
| SCP03 | 高強度 氣孔小 | 3.1 | 436 | 700 | 3 | 3.1 | 132 | － |
熱膨脹系數為RT～200℃時的測量數據。
